FM3000多功能真空實(shí)驗(yàn)裝置是一款面向科研實(shí)驗(yàn)與工業(yè)應(yīng)用設(shè)計(jì)的智能化設(shè)備系統(tǒng)，致力于為多領(lǐng)域用戶提供靈活、穩(wěn)定的真空環(huán)境解決方案。設(shè)備采用模塊化架構(gòu)理念，兼容多種實(shí)驗(yàn)場(chǎng)景需求，通過(guò)精細(xì)化控制與智能化交互設(shè)計(jì)，顯著提升實(shí)驗(yàn)效率與數(shù)據(jù)可靠性。
該裝置搭載高精度壓力控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)10Pa至10^-5Pa量級(jí)的寬域真空度調(diào)控，配備多點(diǎn)位實(shí)時(shí)壓力監(jiān)測(cè)功能，確保實(shí)驗(yàn)過(guò)程參數(shù)的精準(zhǔn)可控。溫控單元采用梯度調(diào)節(jié)技術(shù)，支持-50℃至300℃范圍的環(huán)境溫度調(diào)節(jié)，搭配多層隔熱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，有效維持腔體內(nèi)部環(huán)境穩(wěn)定性。設(shè)備核心組件采用耐腐蝕合金材質(zhì)與多層密封工藝，保障系統(tǒng)在長(zhǎng)時(shí)間高負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)下的性能穩(wěn)定性。
系統(tǒng)支持真空鍍膜、材料熱處理、電子器件封裝等多模式實(shí)驗(yàn)方案，腔體容積提供5L/15L/30L三種規(guī)格可選，適配不同尺寸樣品的處理需求。操作界面集成觸控式人機(jī)交互系統(tǒng)，內(nèi)置20組預(yù)設(shè)工藝程序，支持用戶自定義參數(shù)組合與流程編程。安全防護(hù)系統(tǒng)包含過(guò)壓保護(hù)、漏電監(jiān)測(cè)、應(yīng)急泄壓等多重機(jī)制，結(jié)合可視化狀態(tài)提示功能，有效確保實(shí)驗(yàn)操作安全性。
在功能擴(kuò)展性方面，F(xiàn)M3000預(yù)留標(biāo)準(zhǔn)法蘭接口與通訊協(xié)議端口，可便捷連接質(zhì)譜儀、光譜分析儀等第三方檢測(cè)設(shè)備，構(gòu)建定制化實(shí)驗(yàn)平臺(tái)。設(shè)備采用緊湊型工業(yè)設(shè)計(jì)，配備萬(wàn)向恒力緩沖支架與快拆式維護(hù)面板，兼顧空間利用率與日常維護(hù)便利性。通過(guò)持續(xù)優(yōu)化的氣流循環(huán)系統(tǒng)與節(jié)能控制算法，相比傳統(tǒng)設(shè)備可降低約25%的能耗水平。
本裝置適用于新材料研發(fā)、微電子制造、精密光學(xué)器件加工等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)室及中小規(guī)模生產(chǎn)場(chǎng)景，其開(kāi)放式架構(gòu)設(shè)計(jì)支持根據(jù)特定需求進(jìn)行功能拓展與系統(tǒng)升級(jí)，為科研工作者與工程技術(shù)人員提供可靠的技術(shù)支持平臺(tái)。
